高精度アライメントカメラ搭載で追加工を効率化!高い加工精度も魅力です!

カメラアライメント機能付CNC微細加工機[Micro MC-5]│株式会社ピーエムティー

上部のカメラがアライメントマークを認識することにより、画像処理による位置決めが可能。

ATC(自動工具交換)も標準装備で、追加工にかかるサイクルタイムを大幅に削減できます。

※ミストコレクター、シグナルタワー、カメラ制御ボックスはオプションです

カメラアライメント機能付CNC微細加工機[Micro MC-5]の特徴

1. 精度本位の微細加工

高剛性の鉄鋳物筐体がスピンドルに伝わる加工中の振動をキャンセルするため、精度本位の微細加工が可能。加えて、スケールフィードバック機能を標準搭載することで、±1.5µm以下という高い繰り返し精度を実現しました。

カメラアライメント機能付CNC微細加工機[Micro MC-5]―加工サンプル(SUS630貫通穴加工)│株式会社ピーエムティー

貫通穴加工
材質:SUS630
形状:φ0.15mm/深さ4.5mm穴

カメラアライメント機能付CNC微細加工機[Micro MC-5]―加工サンプル(マシナブルセラミック貫通穴加工)│株式会社ピーエムティー

貫通穴加工
材質:マシナブルセラミック
形状:φ0.043mm/深さ3mm穴

2. カメラアライメント機能

上部のカメラがアライメントマークを認識することで、画像処理によるオフセット加工が可能です。

ワークのパターンを基準とすることで、エッチングやブラスト、フォトリソグラフィなどと組み合わせた加工が容易に。
広い有効ストロークを活かして、半導体基板(~12インチ)の追加工にもご使用いただけます。

カメラアライメント機能付CNC微細加工機[Micro MC-5]―上部アライメントカメラ│株式会社ピーエムティー
上部アライメントカメラ
カメラアライメント機能付CNC微細加工機[Micro MC-5]―アライメントマーク認識画面│株式会社ピーエムティー
アライメントマーク認識画面

製品仕様

ストロークX400 × Y300 × Z200mm
有効加工範囲X300 × Y300mm
繰り返し精度±0.0015mm
位置決め精度0.005mm
制御分解能0.0001mm
主軸回転数5,000~60,000rpm(可変)
制御部CNC
外形寸法W1235 × D1315 × H1840mm
重量1300kg
電源AC200V/20A

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